Физические основы микро- и нанотехнологий
Бычков С. П., Михайлов В. П., Панфилов Ю. В., Цветков Ю. Б., Цветков Ю. Б.
Даны краткие сведения из отдельных разделов физики и смежных наук, составляющих физические основы микро- и нанотехнологий. Рассмотрены основные законы, понятия и определения физических явлений, процессов и сред, являющихся основой этих технологий. Приведены методы преобразования фундаментальных физических законов в прикладные технологические зависимости, расчеты физических закономерностей, определяющих параметры процессов микро- и нанотехнологий.
Язык:
russian
ISBN 10:
5703833191
ISBN 13:
9785703833193
Файл:
PDF, 6.78 MB
IPFS:
,
russian0